仪器型号：Aztec X-Max 80
生产厂家:英国牛津仪器公司
工作原理主要技术指标：
能谱仪与场发射电镜联用，高能电子入射到样品表面，激发出X射线，能谱仪探头紧靠样品，高效收集X射线，进行快速元素定性、定量分析。
探测器：SDD硅漂移电制冷探测器
能量分辨率：MnKa优于127eV
元素分析范围：Be4—Cf98
主要用途：
与场发射电镜SEM联用，进行材料微区成分分析，单颗粒自动识别及成分形貌分析。
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